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立式ITO導(dǎo)電膜生產(chǎn)線
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更新日期2021-12-06 20:34
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長(zhǎng)期有效 |
該設(shè)備主要通過(guò)磁控濺射的方式實(shí)現(xiàn)ITO薄膜的濺射,子創(chuàng)公司在該設(shè)備的設(shè)計(jì)中充分考慮到觸摸屏用ITO導(dǎo)電膜對(duì)本底真空、清潔度、電導(dǎo)率、膜層均勻性等關(guān)鍵指標(biāo)的要求,運(yùn)用了多項(xiàng)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的關(guān)鍵技術(shù),核心部件采用國(guó)際知名品牌,提高設(shè)備的綜合性能和性價(jià)比。
特點(diǎn):
1.真空室體材料采用 SUS304 ,內(nèi)壁進(jìn)行拋光處理,外壁拋光后噴珠。
2.獨(dú)立門(mén)閥—插板閥隔開(kāi),隔離性好,工藝穩(wěn)定。
3.磁導(dǎo)向傳動(dòng),穩(wěn)定性好。
4.變頻調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng),精確控制傳動(dòng)速度。
5.PLC總線控制,人機(jī)界面友好,操作極為簡(jiǎn)便
技術(shù)參數(shù):
本底真空:6.0E-6mbar
平均生產(chǎn)周期:根據(jù)產(chǎn)品確定
基片架尺寸:根據(jù)要求定做
膜層均勻性:±3%
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