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更新日期2021-12-06 20:33
品牌: |
未填 |
所在地: |
山東 煙臺市 |
起訂: |
未填 |
供貨總量: |
未填 |
有效期至: |
長期有效 |
◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 倉體結構(不銹鋼,約20升)
420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 電極面積
250(W) ×190(D) mm,3層
◆ 清洗模式
RIE or DP模式自動轉換
◆ 等離子發生器(韓國KM)
頻率13.56MHZ,功率0-500W連續調節,自動阻抗匹配
◆ 控制系統
觸摸屏(7寸)+PLC單步法全自動控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界***品牌電器元件,
性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統
德國萊寶(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
進口氣動角閥、充氣閥,德國(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制
PID閉環自動穩壓控制
◆ 氣路系統
2路工藝氣體+1路氮氣配置,電子質量流量計、針閥,美國飛托克(FITOK)氣體管路
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