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更新日期2021-12-06 20:32
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德國新格拉斯科技集團(tuán)提供適用于CIGS/CIS薄膜太陽能電池真空鍍膜的處理系統(tǒng)。這一新系統(tǒng)響應(yīng)了光伏產(chǎn)業(yè)對于提升薄膜太陽能電池效率的開發(fā)和生產(chǎn)工具的需求,同時(shí)通過先進(jìn)科技降低了生產(chǎn)成本。在光伏技術(shù)方面,集團(tuán)開發(fā)并制造了鍍膜系統(tǒng),該系統(tǒng)可以鍍特殊膜以及不同材料的多層膜。在線濺射系統(tǒng)對于如今的薄膜太陽能電池生產(chǎn)而言相當(dāng)重要。
以正面透明或背面金屬導(dǎo)電層以及各種材料組成的多層前驅(qū)體涂層為例,新系統(tǒng)的主要優(yōu)勢在于,它可以用來對玻璃襯底進(jìn)行真空立式鍍膜。集團(tuán)借此得以進(jìn)入快速成長的薄膜光伏市場,并將生產(chǎn)CIGS/CIS電池的加工系統(tǒng)提升到新的生產(chǎn)階段。
主要特點(diǎn)
在空氣中/干燥環(huán)境下預(yù)熱襯底
完全垂直定向運(yùn)輸
適用于所有典型靶材的旋轉(zhuǎn)陰極
在各種模式下進(jìn)行磁控濺射,如可用的直流、脈沖式直流、雙極和射頻等
干式一級真空泵以及全磁5軸渦輪泵
邁斯納冷阱及低溫泵
適合所有工藝過程和緩沖腔的加熱功能可選
真空外的傳輸系統(tǒng)
模塊化工藝腔配置
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