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多角度激光橢偏儀

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更新日期2021-12-06 20:26

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多角度激光橢偏儀
產品型號:進口。

簡要描述:高性能橢偏儀,針對粗糙表面硅太陽能電池的測量裝置,擁有業內***高測量精確度。
 

功能特點
多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器,對測量薄膜厚度,折射率和吸收系數有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底) 
■ 超高精度和穩定性,來源于高穩定激光光源、溫度穩定補償器設置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器 
■ 高精度樣品校準,使用光學自動對準鏡和顯微鏡 
■ 快速簡易測量,可選擇不同的應用模型和入射角度 
■多角度測量,可完全支持復雜應用和精確厚度 
■全面的預設應用,包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域
 

技術指標
■ 激光波長632.8 nm 
■ 150 mm (z-tilt) 載物臺 
■ 入射角度可調,步進5o 
■ 自動對準鏡/顯微鏡,用于樣品校準 
■ Small footprint 
■ 以太網接口連接到PC 
 

選項
■ 微細光斑選項,光斑直徑30微米 
■ 手動x-y方向移動載物臺,行程150 mm 
■ 攝象頭選項,用于取代目鏡進行樣品對準 
■ 液體膜測量單元 
■ 反射式膜厚儀FTPadvanced,光斑直徑80微米 
■ 雙波長激光 (405 nm 或1550 nm) 
■ SIMULATION軟件
 

軟件特征
■ 預先定義應用 
■ 多角度測量 
■ 廣泛的材料數據庫 
■ 擬合狀況的圖形反饋 
■ 支持多種語言 
 
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