■主要性能指標
◆12對加熱棒
◆年產(chǎn)30-50噸
◆純度9-12N
◆轉(zhuǎn)化率：86%
◆電耗：50度每公斤
■技術(shù)指標
◆硅烷法多晶硅生長設(shè)備主要用于電子級多晶硅的生成，其主要是利用硅烷熱分解法生產(chǎn)純度較高的電子級多晶硅產(chǎn)品。
◆硅烷熱分解法硅烷（SiH4）是將制得的硅烷氣提純后在熱分解爐生產(chǎn)純度較高的棒狀多晶硅。
◆設(shè)備的主要組成部分有：氣源部分、反應(yīng)室、真空系統(tǒng)、尾氣處理部分和安全保護部分。
◆氣源部分主要是提供多晶硅生長的原材料，以及對反應(yīng)室和氣路部分的吹掃等功能。
