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PECVD 退火(固化)爐
產品: 瀏覽次數:963PECVD 退火(固化)爐 
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有效期至: 長期有效
最后更新: 2021-12-06 20:26
 
詳細信息

  該設備主要用于太陽能電池(1200*600 *3.2mm板)在生產線中進行連續退火(燒結、固化)的大尺寸腔體專用設備。該類設備還可用于半導體器件的固化、燒結等應用(腔體尺寸可訂制)。

  該設備具有多項專利,采用國內首創循環熱風的加熱方式,實現大腔體內部的溫度均勻性好;首創用抽出腔內熱風經特殊冷阱冷卻后再回送到腔內冷卻器件的方式,旨在使腔體內的氣氛濃度不變,溫度逐漸降低;首創特殊鏈板式輸送方式,使大尺寸鏈帶輕便、基本免維護、傳動平穩、無跑偏;彈性漲緊機構保證鏈帶在傳動中對熱脹、冷縮自動實現漲緊;特別適用于大幅面太陽能電池(板)的均勻加熱和冷卻,實現電池板連續燒結、退火及固化工藝。

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