■技術指標
◆每管***大裝片量：320片/舟（125*125）252片/舟（156*156）
◆工藝指標：片內±3%，片間±3%，批間±3%
◆控制：全進口自動壓力閉環調節系統，精準控制反應真空；40KHzAE高頻電源；工藝舟軟著陸；全數字式控制，完善安全的過程控制保護。
◆1管、2管、3管、4管分別可選；自動裝載機械手可選，設備性能、工藝性能可與進口設備媲美。
■類型
◆裝片數量：
320片/舟（125*125）252片/舟（156*156）
◆凈化臺潔凈度：100級（10000級廠房）
◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。
◆送取片方式：軟著陸式：其特點平穩可靠、
無爬行、定位準確、承重量大、使用壽命長。
■設備特點
◆用工控機對工藝時間，溫度，氣體流量，閥門
動作，反應室壓力實現全自動控制。
◆采用進口壓力控制系統，閉環系統，穩定性高。
◆采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門，確保氣路
氣密性。
◆具有完善的報警功能及安全互鎖裝置。
◆具有超高溫報警及欠溫報警，MFC報警,反應室
壓力報警，RF報警，高壓空氣壓力報警，N2
壓力報警，流報警等。
