閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內。閉管擴散方式工藝過程完全不受外界環 境干擾，工藝質量完全受控。
◆ 自動控制溫度過程及工藝過程，全部采用進口優質產品。
◆ 送取片方式：精心設計制造的軟著陸裝置，全數字化控制，性能更加穩定可靠，其特點平穩可靠、無爬行、Sic漿實現免清洗、定位 準確、承重量大、使用壽命長。
■ 技術指標
◆ 工作溫度：600~1150℃
◆ 恒溫區長度：1350mm
◆ 溫區精度 (靜態閉管測試)： 800℃＜工作溫度＜1150℃：±0.5℃ 600℃≤工作溫度≤800℃ ：±1℃
◆ 單點溫度穩定性(靜態閉管測試)：800℃＜工作溫度＜1150℃：±0.5℃/24h 600℃≤工作溫度≤800℃： ±1℃/24h
◆ 溫度斜變能力：***大可控升溫速度：(600～1150℃) 15℃/min; ***大可控降溫速度：(1150～600℃) 8℃/min
◆ 氣體流量設定精度：±0.5％FS
◆ 氣路系統氣密性：1×10-7pa.m3/s
◆ 自動送料裝置行程： ～2000mm 速度：5～1000mm/min SiC漿承重：19kg
◆ 裝片數量： 530片/管（槽間距：4.76mm）
◆ 凈化臺潔凈度：100級（10000級廠房）
◆ 三相五線制：380V±10%，50Hz±10%Hz
◆ 冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min
◆ 1管、2管、3管、4管、5管分別可選；自動裝載機械手可選，設備性能、工藝性能可與進口設備媲美。
