硅芯冷態電阻率很大,采用高壓擊穿、中壓繼續加熱的原理啟動硅芯,啟動過程快速可靠,對硅芯無污染。高壓啟動系統由高壓啟動與啟動維持電源(選配)組成,兩電源協調完成硅芯啟動擊穿與維持假加熱過程。電源核心采用TCUS1控制器接受本地或遠程給定,采集硅芯電壓電流信號,調節晶閘管觸發控制角,實現高壓啟動、維持過程中硅芯電源限制,電流閉環控制。
全數字化多晶硅高壓起動電源
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全數字化多晶硅高壓起動電源
詳細信息 硅芯冷態電阻率很大,采用高壓擊穿、中壓繼續加熱的原理啟動硅芯,啟動過程快速可靠,對硅芯無污染。高壓啟動系統由高壓啟動與啟動維持電源(選配)組成,兩電源協調完成硅芯啟動擊穿與維持假加熱過程。電源核心采用TCUS1控制器接受本地或遠程給定,采集硅芯電壓電流信號,調節晶閘管觸發控制角,實現高壓啟動、維持過程中硅芯電源限制,電流閉環控制。 共0條 相關評論 |
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