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更新日期2021-12-06 20:36

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江蘇 蘇州市

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石墨舟裝片房是用于太陽能行業與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達到凈化要求。

工作原理:


空氣通過高效過濾后,阻尼層均壓,使潔凈的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區,從而保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環境中往石墨舟上裝硅片。


主要特點:

  1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位;

  2、采用不銹鋼制造,整機結構堅固可靠;

  3、采用GK系列高效空氣過濾器3只;

  4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉180度;

  5、凈化風機噪音小于50dB。

  6、保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度100級。

 
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